Электронолитография

Электронолитография

Номзүйн дэлгэрэнгүй
Үндсэн зохиолч:	Васичев Б.Н
Байгууллагын зохиогч:	Говое жизни, науке, технике
Формат:	Ном
Хэл сонгох:	Russian
Хэвлэсэн:	М Знание 1982
Нөхцлүүд:	Техникийн шинжлэх ухаан