APA Баримт

АН МССР, Ин-т прикл. физики. (1979). Физико химические методы обработки поверхности полупроводников. Рарио и связь.

Чикаго маягийн жагсаалт

АН МССР, Ин-т прикл. физики. Физико химические методы обработки поверхности полупроводников. М: Рарио и связь, 1979.

MLA ишлэл

АН МССР, Ин-т прикл. физики. Физико химические методы обработки поверхности полупроводников. Рарио и связь, 1979.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.