АН МССР, Ин-т прикл. физики. (1979). Физико химические методы обработки поверхности полупроводников. Рарио и связь.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)АН МССР, Ин-т прикл. физики. Физико химические методы обработки поверхности полупроводников. М: Рарио и связь, 1979.
Цитирование MLA (8-е изд.)АН МССР, Ин-т прикл. физики. Физико химические методы обработки поверхности полупроводников. Рарио и связь, 1979.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.