Физико химические методы обработки поверхности полупроводников

Библиографические подробности
Соавтор:	АН МССР, Ин-т прикл. физики
Формат:	‌
Язык:	Russian
Опубликовано:	М Рарио и связь 1979
Предметы:	Техникийн шинжлэх ухаан > машин судлал > машин үйлдвэрлэл

Схожие документы