Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем Учеб. пособие для техн. уч-щ
Үндсэн зохиолч: | |
---|---|
Байгууллагын зохиогч: | |
Бусад зохиолчид: | |
Формат: | Ном |
Хэл сонгох: | Russian |
Хэвлэсэн: |
М
Высш.шк.
1985
|
Хэвлэл: | 2-е изд., перераб. и доп. |
Нөхцлүүд: |
МУҮНомын сан салбар: UB0100000117
Зохиогчийн тэмдэгт: |
49047 |
---|---|
Хуулбар Unknown | Бэлэн Түр хойшлуулалтыг байршуулах |
МУҮНомын сан төв байр: UB0100000104
Зохиогчийн тэмдэгт: |
49048 |
---|---|
Хуулбар Unknown | Бэлэн Түр хойшлуулалтыг байршуулах |