Химия в микроэлектронике Хим. осаждение из газовой фазы

Библиографические подробности
Главный автор: Раков Э.Г., Тесленко В.В
Формат:
Язык:Russian
Опубликовано: М Знання 1988
Предметы:

МУҮНомын сан төв байр: UB0100000104

Подробно о фондах из МУҮНомын сан төв байр: UB0100000104
Шифр: 109403
Копировать Unknown Доступно Поместить задолженность