APA Баримт

Раков Э.Г., Т. В. (1988). Химия в микроэлектронике: Хим. осаждение из газовой фазы. Знання.

Чикаго маягийн жагсаалт

Раков Э.Г., Тесленко В.В. Химия в микроэлектронике: Хим. осаждение из газовой фазы. М: Знання, 1988.

MLA ишлэл

Раков Э.Г., Тесленко В.В. Химия в микроэлектронике: Хим. осаждение из газовой фазы. Знання, 1988.