Раков Э.Г., Т. В. (1988). Химия в микроэлектронике: Хим. осаждение из газовой фазы. Знання.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Раков Э.Г., Тесленко В.В. Химия в микроэлектронике: Хим. осаждение из газовой фазы. М: Знання, 1988.
Цитирование MLA (8-е изд.)Раков Э.Г., Тесленко В.В. Химия в микроэлектронике: Хим. осаждение из газовой фазы. Знання, 1988.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.