Химия в микроэлектронике Хим. осаждение из газовой фазы

Библиографические подробности
Главный автор:	Раков Э.Г., Тесленко В.В
Формат:	‌
Язык:	Russian
Опубликовано:	М Знання 1988
Предметы:	Техник > Төмөрлөгийн технологи, машин үйлдвэрлэл, багаж хээргслийн үйлдвэрлэл

Описание
Объем:	47с

Схожие документы