Химия в микроэлектронике Хим. осаждение из газовой фазы
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М
Знання
1988
|
| Subjects: |
МУҮНомын сан төв байр: UB0100000104
| Call Number: |
109403 |
|---|---|
| Copy Unknown | Available Place a Hold |