Технологические проблемы микроэлектроники

Технологические проблемы микроэлектроники

Библиографические подробности
Соавтор:	Тр. Ин-та общ. физики / АН СССР
Формат:	‌
Язык:	Undetermined
Опубликовано:	Москва Наука 1988