Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Undetermined |
| Published: |
М
Наука
1988
|
| Physical Description: | 176 |
|---|---|
| ISBN: | 5-02-013845-2 |