Микролитография Принципы, методы, материалы : В 2 ч.

Микролитография Принципы, методы, материалы : В 2 ч.

Bibliographic Details
Main Author:	Моро У.
Format:	Book
Language:	Undetermined
Published:	М Мир 1990

Description
Physical Description:	606
ISBN:	5-03-001716-X