Микролитография Принципы, методы, материалы : В 2 ч.
Главный автор: | |
---|---|
Формат: | |
Язык: | Undetermined |
Опубликовано: |
М
Мир
1990
|
Объем: | 606 |
---|---|
ISBN: | 5-03-001716-X |
Главный автор: | |
---|---|
Формат: | |
Язык: | Undetermined |
Опубликовано: |
М
Мир
1990
|
Объем: | 606 |
---|---|
ISBN: | 5-03-001716-X |