Проблемы линейных измерий микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах
| Байгууллагын зохиогч: | |
|---|---|
| Формат: | Ном |
| Хэл сонгох: | Undetermined |
| Хэвлэсэн: |
М
Наука
1995
|
| Биет тодорхойлолт: | 165 |
|---|---|
| ISBN: | 5-02-000828-1 |
| ISSN: | 0233-9390 |