Проблемы линейных измерий микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Undetermined |
| Published: |
М
Наука
1995
|
| Physical Description: | 165 |
|---|---|
| ISBN: | 5-02-000828-1 |
| ISSN: | 0233-9390 |