Проблемы линейных измерий микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах
Соавтор: | |
---|---|
Формат: | |
Язык: | Undetermined |
Опубликовано: |
М
Наука
1995
|
Объем: | 165 |
---|---|
ISBN: | 5-02-000828-1 |
ISSN: | 0233-9390 |
Соавтор: | |
---|---|
Формат: | |
Язык: | Undetermined |
Опубликовано: |
М
Наука
1995
|
Объем: | 165 |
---|---|
ISBN: | 5-02-000828-1 |
ISSN: | 0233-9390 |