Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
Главный автор: | |
---|---|
Формат: | |
Язык: | Russian |
Опубликовано: |
М
Энергия
1979
|
Предметы: |
Объем: | 88c |
---|
Главный автор: | |
---|---|
Формат: | |
Язык: | Russian |
Опубликовано: |
М
Энергия
1979
|
Предметы: |
Объем: | 88c |
---|