Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе

Библиографические подробности
Главный автор: Папков В.С., Цыбульников М.Б
Формат:
Язык:Russian
Опубликовано: М Энергия 1979
Предметы:

Схожие документы