Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей (Теория, метод расчета, таблицы)
| Формат: | |
|---|---|
| Язык: | Undetermined |
| Опубликовано: |
Минск
Изд-во БГУ
1980
|
МУҮНомын сан төв байр: UB0100000104
| Шифр: |
505746 505747 |
|---|---|
| Копировать Unknown | Доступно Поместить задолженность |
| Копировать Unknown | Доступно Поместить задолженность |