Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей (Теория, метод расчета, таблицы)
| Формат: | Ном |
|---|---|
| Хэл сонгох: | Undetermined |
| Хэвлэсэн: |
Минск
Изд-во БГУ
1980
|
| Формат: | Ном |
|---|---|
| Хэл сонгох: | Undetermined |
| Хэвлэсэн: |
Минск
Изд-во БГУ
1980
|